Alicat MFC는 기체의 질량 유량을 센서로 측정하고 내장 밸브로 설정값에 맞춰 자동 제어하는 전자식 유량 제어기입니다. 매우 빠른 응답과 넓은 turndown, 다기체 보정을 무기로, 하나의 기기로 여러 가스를 폭넓은 유량 범위에서 정밀하게 다룰 수 있습니다.
Alicat이 강한 이유
- 초고속 응답 — 설정 유량에 도달하는 시간이 수십 ms 수준. 유량을 빠르게 바꿔야 하는 스위칭·펄스 실험에서 유리합니다.
- 넓은 측정 범위(turndown) — 하나의 기기가 저유량부터 풀스케일까지 넓은 구간을 정밀하게 커버해, 여러 유량계를 두지 않아도 됩니다.
- 다기체 보정 — 여러 가스의 물성을 내장해 사용 가스를 선택만 하면 그 가스 기준으로 정확히 측정·제어. 하나의 기기로 여러 가스를 다룹니다.
- 압력 변동에 강함 — 상류·하류 압력이 흔들려도 질량 유량을 일정하게 유지하도록 제어합니다.
- 다양한 통신 — RS-485(Modbus 등) 디지털과 아날로그(0–5V/4–20mA)를 지원해 기록·다채널 제어와 시스템 연동이 쉽습니다.
- 컬러 디스플레이·현장 재보정 — 유량·압력·온도를 한눈에 보고, 현장에서 기준 대비 재보정을 할 수 있습니다.
어디에 쓰나
- 튜브퍼니스 가스 분위기 제어 — N2·Ar·H2·공기 등의 유량과 혼합비를 재현성 있게 유지.
- CVD·박막 공정 — 전구체·캐리어 가스 유량을 정밀 제어해 증착 조건을 일정하게.
- 촉매·반응 실험 — 반응 가스 유량·비율을 정확히 잡아 활성·선택도 조건을 통제.
- 가스 혼합·희석 — 여러 가스를 정해진 비율로 섞어 목표 조성을 만듦.
선택할 때 확인할 것
| 항목 | 확인할 내용 |
|---|---|
| 가스 종류 | 대상 가스와 부식성·인화성 여부. 다기체 보정으로 어떤 가스들을 커버할지 확인. |
| 유량 범위 | 필요한 최소·최대 유량(sccm ~ slpm)을 포함하는 풀스케일. Alicat의 넓은 turndown으로 한 기기가 커버할 수 있는지. |
| 통신·신호 | RS-485(Modbus 등) 디지털 또는 아날로그(0–5V/4–20mA). 기록·다채널 제어에는 디지털이 유리. |
| 다중 MFC 동기 | 여러 채널의 유량을 동시에 설정·기록하고 혼합비를 함께 제어해야 하는지. |
실험셋업연구소의 Alicat 셋업 지원
실험셋업연구소는 Alicat 질량유량계를 공급하고, 제어 소프트웨어로 여러 MFC를 묶어 유량 설정·기록·혼합비까지 동기 제어하는 시스템 연동을 지원합니다. 튜브퍼니스나 CVD 라인처럼 여러 가스를 다뤄야 하는 셋업에서 가스 종류·유량 범위·통신 방식에 맞는 구성을 함께 정리하고, 온도 스케줄에 가스 유량을 연동하는 무인·재현 셋업까지 구성할 수 있습니다.
실제 도입 사례
1500℃ 튜브퍼니스 가스 분위기 제어 — Alicat MFC 도입 사례 →
1500℃ 튜브퍼니스의 가스 분위기와 혼합비를 Alicat MFC와 제어 소프트웨어로 구성한 사례입니다.
Alicat MFC 셋업이 필요하면
다루는 가스 종류·유량 범위·통신 방식과 다중 MFC 동기가 필요한지 알려주시면, Alicat 구성과 소프트웨어 연동 방법을 함께 정리해 드립니다.